горизонтальная печь (в полупроводниковых приборах)

 

горизонтальная печь (в полупроводниковых приборах)
Печь для высокотемпературной обработки полупроводниковых подложек с горизонтальным расположением технологического канала и вертикальным расположением подложек в кассете; используется для термического окисления, химического осаждения из паровой фазы, диффузии и отжигов; предназначена для групповой обработки; противоположная конструкция: вертикальная печь.
[http://www.cscleansystems.com/glossary.html]

Тематики

• полупроводниковые приборы

EN

• furnace horizontal